[实用新型]石英桨有效
| 申请号： | 201220301999.X | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202678296U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 张忠恕;杨继盛;陈强;韦冬寒;于洋;张娟;张连兴;赵小亮;李翔星;刘文静 | 申请（专利权）人： | 北京凯德石英有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11333 | 代理人： | 胡敬红 |
| 地址： | 101109 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石英桨，属于半导体生产工具领域，它包括承载段、结合段和悬臂段一体式的连续三段，所述悬臂段为石英管一端的空心管；承载段为弧形管壳，所述弧形夹角小于180度；所述结合段为从弧形管壳到空心管的过渡段，所述弧形管壳内的底部固定有一加强板。本实用新型采用一体式的石英桨设计，提高了承载能力，同时在弧形管壳底部设置加强板进一步提高了承载能力，且制作工艺简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 | ||
【主权项】：
石英桨，其特征在于：它包括承载段、结合段和悬臂段一体式的连续三段，所述悬臂段为石英管一端的空心管；承载段为弧形管壳，所述弧形夹角小于180度；所述结合段为从弧形管壳到空心管的过渡段，所述弧形管壳内的底部固定有一加强板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
