[实用新型]一种用于立体光学显微镜的样品台有效
| 申请号： | 201220297159.0 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN202794696U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 孙蓓瑶 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/26 | 分类号： | G02B21/26;G02B21/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于立体光学显微镜的样品台，其由下至上依次包括底座、滑座和载样台；所述底座与滑座之间设置纵向滑动机构，其包括相互配合滑动的纵向导轨和纵向滑块；所述滑座与载样台之间设置横向滑动机构，其包括相互配合滑动的横向导轨和纵向滑块，纵向滑动机构和横向滑动机构相互垂直设置。本实用新型通过将样品台分成三个部分，在三个部分之间通过设置滑动机构，从而实现上部载样台的左右和前后移动，当观测样品时，只需调整样品台的载样台的位置即可达到简接调节所要观测的样品位置的目的，从而避免了手动移动样品而造成的样品表面受损或受污染的情况，同时也为观测样品带来了便捷，进而提高了失效分析的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立体 光学 显微镜 样品 | ||
【主权项】：
一种用于立体光学显微镜的样品台，其特征在于，其由下至上依次包括底座、滑座和载样台；所述底座与滑座之间设置纵向滑动机构，其包括相互配合滑动的纵向导轨和纵向滑块；所述滑座与载样台之间设置横向滑动机构，其包括相互配合滑动的横向导轨和横向滑块，纵向滑动机构和横向滑动机构相互垂直设置。
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