[实用新型]一种用于立体光学显微镜的样品台有效
申请号: | 201220297159.0 | 申请日: | 2012-06-21 |
公开(公告)号: | CN202794696U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 孙蓓瑶 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G02B21/26 | 分类号: | G02B21/26;G02B21/34 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 立体 光学 显微镜 样品 | ||
1.一种用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于,其由下至上依次包括底座、滑座和载样台;所述底座与滑座之间设置纵向滑动机构,其包括相互配合滑动的纵向导轨和纵向滑块;所述滑座与载样台之间设置横向滑动机构,其包括相互配合滑动的横向导轨和横向滑块,纵向滑动机构和横向滑动机构相互垂直设置。
2.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述纵向导轨固定设置在底座的上表面上,所述纵向滑块固定设置在滑座的下表面上,所述横向导轨固定设置在滑座的上表面上,所述横向滑块设置在载样台的下表面上。
3.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述横向导轨和纵向导轨均成倒置的凹字形,其两侧板分别设有滑槽,所述滑块嵌设在滑槽内,沿滑槽相对移动。
4.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述横向导轨和纵向导轨均有两对,分别对称设置在底座和滑座对称轴的两侧。
5.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:整个样品台在合拢状态下呈圆柱状,底座、滑座和载样台均为圆形面板。
6.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述滑座的侧边设有手柄。
7.根据权利要求1所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述载样台的侧边设有手柄。
8.根据权利要求3所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述底座、滑座和载样台的厚度为7mm~10mm。
9.根据权利要求3所述的用于立体光学显微镜的样品台,其特征在于:所述底座、滑座和载样台的直径为150mm~200mm。
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