[实用新型]一种超净高纯氨水的连续生产装置有效
| 申请号: | 201220280802.9 | 申请日: | 2012-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN202785681U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 江阴苏龙微电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C01C1/02 | 分类号: | C01C1/02 |
| 代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 杨新勇 |
| 地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种超净高纯氨水的连续生产装置,连续生产装置包括与氨气储罐相连接的缓冲罐,缓冲罐的出料口与洗气瓶相串联,洗气瓶的出口与吸收塔的氨气进料口相连,吸收塔塔底设置的氨水出料口与中间罐相通,中间罐的出料口通过管道依次串联真空泵、微滤器和成品罐,真空泵和微滤器之间的管道上设置有氨水进料支管,氨水进料支管与吸收塔相通,连续生产装置还包括尾气吸收罐,吸收塔和中间罐的尾气管与尾气吸收罐相通延至尾气吸收罐内腔的低端,尾气吸收罐的低端出料口与中间罐相通。该装置工艺流程合理、生产效率和设备利用率高、符合环保要求。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 净高 氨水 连续生产 装置 | ||
【主权项】:
一种超净高纯氨水的连续生产装置,所述连续生产装置包括与氨气储罐相连接的缓冲罐,所述缓冲罐的出料口与洗气瓶相串联,所述洗气瓶的出口与吸收塔的氨气进料口相连,其特征在于,所述吸收塔塔底设置的氨水出料口与中间罐相通,所述中间罐的出料口通过管道依次串联真空泵、微滤器和成品罐,真空泵和微滤器之间的管道上设置有氨水进料支管,所述氨水进料支管与所述吸收塔相通,所述连续生产装置还包括尾气吸收罐,所述吸收塔和中间罐的尾气管与所述尾气吸收罐相通延至尾气吸收罐内腔的低端,所述尾气吸收罐的低端出料口与中间罐相通。
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