[实用新型]一种超净高纯氨水的连续生产装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及超高纯试剂提纯技术，具体涉及一种超净高纯氨水的连续生产装置。

背景技术

超净高纯试剂是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蚀刻。超净高纯氨水呈碱性，主要用于半导体行业紫外负性光刻胶的漂洗工艺，可与负胶显影液配套使用。

随着电子领域技术的不断发展，对电子化学品的纯度要求也日益提高。目前普遍采用的超净高纯氨水生产装置多为间歇式，产品质量监控繁琐，生产效率和设备利用率较低，此外，生产流程中尾气的吸收通常采用酸中和法，会产生一定的废水。因此，有必要对现有技术中的氨水生产设备进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种工艺流程合理、生产效率和设备利用率高、符合环保要求的超净高纯氨水的连续生产装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种超净高纯氨水的连续生产装置，所述连续生产装置包括与氨气储罐相连接的缓冲罐，所述缓冲罐的出料口与洗气瓶相串联，所述洗气瓶的出口与吸收塔的氨气进料口相连，其特征在于，所述吸收塔塔底设置的氨水出料口与中间罐相通，所述中间罐的出料口通过管道依次串联真空泵、微滤器和成品罐，真空泵和微滤器之间的管道上设置有氨水进料支管，所述氨水进料支管与所述吸收塔相通，所述连续生产装置还包括尾气吸收罐，所述吸收塔和中间罐的尾气管与所述尾气吸收罐相通延至尾气吸收罐内腔的低端，所述尾气吸收罐的低端出料口与中间罐相通。

为了便于氨水在达到一定浓度后通过真空泵进入微滤器，简化设备的结构，优选的技术方案，所述氨水进料支管上设置有氨水阀，所述氨水进料支管接口与微滤器之间也设置有氨水阀。

，所述尾气吸收罐与中间罐的顶端分别设置有纯水进料口，所述纯水进料口分别纯水支管相连接。

为了简化生产装置的结构，优选的技术方案为，所述纯水支管与纯水管相通，所述纯水支管上分别设置有纯水阀。

为了使尾气吸收罐和成品罐中少量的尾气及时排放，避免尾气吸收罐和成品罐中气压过高发生事故，优选的技术方案为，所述尾气吸收罐和成品罐的顶端分别设置有放空管，所述放空管上分别连接有放空阀。

为了增加氨水吸收塔的传热面积，及时吸收生成氨水时释放的热量，优选的技术方案为，所述吸收塔外周设置有水冷却系统。

为了分别对原料氨气中的杂质进行清洗，优选的技术方案为，所述洗气瓶至少为两个，所述洗气瓶之间串联相连通。

为了更有效的控制氨气流量，同时便于在出现紧急情况时停车，优选的技术方案为，所述氨气储罐与缓冲瓶之间的管道上连接有氨气阀。

本实用新型的优点和有益效果在于：

该装置结构简单合理，设置中间罐能实现吸收塔和尾气吸收罐的物料循环，在中间罐中的氨水达到一定浓度使切换管道，及时排除符合生产要求的氨水，实现了超净高纯氨水的连续生产；

本装置的尾气吸收采用纯水，并将尾气吸收的产物低浓度氨水导入吸收塔中进一步吸收氨气，有利于物料的充分利用，生产装置排放尾气较少，符合环保要求。

附图说明

图1是本实用新型超净高纯氨水的连续生产装置的结构示意图。

图中：1、氨气储罐；2、缓冲罐；3、洗气瓶；4、吸收塔；5、中间罐；6、尾气回收罐；7、真空泵；8、微滤器；9、成品罐；10、氨水进料支管；11、尾气管；12、氨水阀；13、纯水支管；14、纯水管；15、纯水阀；16、放空管；17、放空阀；18、氨气阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，本实施例为一种超净高纯氨水的连续生产装置，连续生产装置包括与氨气储罐1相连接的缓冲罐2，缓冲罐2的出料口与洗气瓶3相串联，洗气瓶3的出口与吸收塔4的氨气进料口相连，吸收塔4塔底设置的氨水出料口与中间罐5相通，中间罐5的出料口通过管道依次串联真空泵7、微滤器8和成品罐9，真空泵7和微滤器8之间的管道上设置有氨水进料支管10，氨水进料支管10与吸收塔4相通，连续生产装置还包括尾气吸收罐6，吸收塔4和中间罐5的尾气管11与尾气吸收罐6相通延至尾气吸收罐6内腔的低端，尾气吸收罐6的低端出料口与中间罐5相通。

在本实施例中，氨水进料支管10上设置有氨水阀12，氨水进料支管10接口与微滤器8之间也设置有氨水阀12。