[实用新型]一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置

摘要

本实用新型涉及一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置，其特征在于：放电腔室由耐温绝缘材料制作而成，并且在放电腔室的外部设有水冷不锈钢固定套，顶部安装密封管。在最下面一层绝缘垫的下方安装有拉瓦尔喷嘴的阳极底座，在水冷不锈钢固定套上设有与直流电源连接的电极接头、铈钨阴极安装孔和氩气入口。在阳极底座上设有与工作气源连接的气源接口。不锈钢固定套的上部设有氩气入口，氩气沿铈钨阴极的安装孔进入放电腔室，能对铈钨阴极进行冷却，从而减少铈钨阴极的热烧蚀，延长铈钨阴极的使用寿命。在不锈钢固定套的上端面设有一密封管，密封管不仅对氩气起到密封作用，而其能对铈钨阴极起到很好的保护作用。

主权项

一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置，包括放电腔室、阳极底座、铈钨阴极、绝缘垫、水冷铜板，其特征在于：    放电腔室由耐高温绝缘材料制作而成，在放电腔室的外部设有水冷不锈钢固定套，在放电腔室的底部设有一个绝缘垫；绝缘垫下设有一个中心贯穿的水冷铜板，绝缘垫‑水冷铜板交错结构重复3‑7次不等，在最下面一层绝缘垫的下方为安装有拉瓦尔喷嘴的阳极底座；不锈钢固定套内部设有冷却水槽，外部设有和其相连的冷却水进口和冷却水出口；在水冷不锈钢固定套上设有与直流电源连接的电极接头、铈钨阴极安装孔和氩气入口；阳极底座内部设有冷却水通道和工作气源通道；水冷不锈钢固定套的上端面设有密封管。