[实用新型]一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201220277958.1 | 申请日： | 2012-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202738246U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 芶富均 | 申请（专利权）人： | 芶富均 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 550000 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 etp pecvd 扩展 等离子体 发生 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置，包括放电腔室、阳极底座、铈钨阴极、绝缘垫、水冷铜板，其特征在于：
放电腔室由耐高温绝缘材料制作而成，在放电腔室的外部设有水冷不锈钢固定套，在放电腔室的底部设有一个绝缘垫；
绝缘垫下设有一个中心贯穿的水冷铜板，绝缘垫-水冷铜板交错结构重复3-7次不等，在最下面一层绝缘垫的下方为安装有拉瓦尔喷嘴的阳极底座；
不锈钢固定套内部设有冷却水槽，外部设有和其相连的冷却水进口和冷却水出口；
在水冷不锈钢固定套上设有与直流电源连接的电极接头、铈钨阴极安装孔和氩气入口；
阳极底座内部设有冷却水通道和工作气源通道；
水冷不锈钢固定套的上端面设有密封管。
2.根据权利要求1所述的一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置，其特征在于：在所述阳极底座上设有与工作气源连接的气源接口。
3.根据权利要求1所述的一种用于ETP PECVD的扩展热等离子体发生装置，其特征在于：所述的水冷铜板由外侧环形铜管焊接在铜板的圆弧槽之中，铜管的两端分别与冷却水的进水端和出水端相连。
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