[实用新型]一种显微监控型可选区原子力显微成像装置

摘要

本实用新型公开了一种显微监控型可选区原子力显微成像装置。采用将光学显微监控与原子力显微镜（AFM）显微成像相结合以及将AFM扫描器与二维步进微动台相结合的方法，实现AFM扫描区域的显微监控及可选区AFM成像。它具有由激光器、半透半反棱镜、微探针、位置敏感元件、样品、样品台、扫描器、显微物镜、CCD、二维步进微动台等组成的AFM探头，以及由前置放大器、XY扫描与Z反馈控制单元、XYZ高压放大模块、步进控制模块、视频采集模块、计算机及硬件接口等组成的AFM成像与控制系统。本实用新型的优点是：实现微纳米样品扫描区域的实时监控与选区，可监控光路的调节与对准以及样品与微探针的逼近过程，克服了常规AFM技术在这些方面的随机性、盲目性和局限性。

主权项

一种显微监控型可选区原子力显微成像装置，其特征在于包括显微监控型可选区AFM探头（1）、前置放大器（2）、XY扫描与Z反馈控制单元（3）、XYZ高压放大模块（4）、步进控制模块（5）、视频采集模块（6）、计算机及硬件接口（7）；前置放大器（2）与激光器（8）及位置敏感元件（15）连接，同时与XY扫描与Z反馈控制单元（3）连接，XY扫描与Z反馈控制单元（3）与XYZ高压放大模块（4）及计算机及硬件接口（7）连接，步进控制模块（5）两端分别与步进电机（28）、计算机及硬件接口（7）连接，视频采集模块（6）两端分别与CCD（22）、计算机及硬件接口（7）连接。