[实用新型]一种显微监控型可选区原子力显微成像装置

权利要求书

1.一种显微监控型可选区原子力显微成像装置，其特征在于包括显微监控型可选区AFM探头（1）、前置放大器（2）、XY扫描与Z反馈控制单元（3）、XYZ高压放大模块（4）、步进控制模块（5）、视频采集模块（6）、计算机及硬件接口（7）；前置放大器（2）与激光器（8）及位置敏感元件（15）连接，同时与XY扫描与Z反馈控制单元（3）连接，XY扫描与Z反馈控制单元（3）与XYZ高压放大模块（4）及计算机及硬件接口（7）连接，步进控制模块（5）两端分别与步进电机（28）、计算机及硬件接口（7）连接，视频采集模块（6）两端分别与CCD（22）、计算机及硬件接口（7）连接。

2.根据权利要求1所述的一种显微监控型可选区原子力显微成像装置，其特征在于所述的显微监控型可选区AFM探头（1）包括激光器（8）、垂直调节螺杆（9）、水平调节螺杆（10）、半透半反棱镜（11）、微探针（12）、固定螺钉（13）、安装块（14）、位置敏感元件（15）、样品（16）、样品台（17）、扫描器（18）、显微物镜（19）、接筒（20）、镜筒（21）、CCD（22）、装配座（23）、监控孔（24）、垫板（25）、二维步进微动台（26）、丝杠机构（27）、步进电机（28）、粗调旋钮（29）、细调旋钮（30）、导轨（31）、导轨座（32）、立柱（33）、横梁（34）、楔块（35）、加强筋（36）、底座（37）；激光器（8）由垂直调节螺杆（9）与水平调节螺杆（10）调节并固定在安装块（14）上，位置敏感元件（15）由固定螺钉（13）固定在安装块（14）上，安装块（14）与装配座（23）固定在一起，半透半反棱镜（11）胶粘固定在装配座（23）下端，装配座（23）中央开有监控孔（24），装配座（23）安装在导轨（31）上，通过调节粗调旋钮（29）与细调旋钮（30）垂直上下运动，显微物镜（19）、接筒（20）、镜筒（21）、CCD（22）顺次相连接、接筒（20）固定在横梁（34）上，横梁（34）通过楔块（35）固定在立柱（33）上，立柱通过加强筋（36）安装在底座（37）上，样品（16）安装在扫描器（18）的样品台（17）上，扫描器（18）通过垫板（25）安装在二维步进微动台（26）上，二维步进微动台（26）安装在底座（37）上。