[实用新型]用于半导体线锯的线和线锯有效
| 申请号： | 201220275064.9 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN202943762U | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·那斯卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于半导体线锯的线和线锯，公开了一种线(200)，其适用于锯切半导体材料(102；104；106；108)，其中所述线包括非圆形横截面。此外，提供了一种线导引器(112，114，116，118)，其适用于引导所述的用于锯切半导体材料(102；104；106；108)的线(200)。线导引器包括至少一个沟槽，所述至少一个沟槽包括矩形或梯形横截面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 | ||
【主权项】：
一种适用于锯切半导体材料(102；104；106；108)的线(200)，其中所述线包括非圆形横截面。
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