[实用新型]一种非晶硅薄膜电池的制造装置有效
| 申请号： | 201220246428.0 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202595254U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 邓文忠 | 申请（专利权）人： | 浙江慈能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14;H01L31/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315336 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种非晶硅薄膜电池的制造装置，其特征在于，所述装置包括具有进气和出气口的真空腔室，所述真空腔室中设有加热装置和玻璃衬底，所述玻璃衬底上设有激发电极板和接地板，所述激发电极板与射频电源相连接。本实用新型的真空腔室中设有加热装置和玻璃衬底，加氢气作为弥补这些缺陷以及亚稳态键的元素，该元素在射频电源电离时候，将于SI原子结合成SI-H键，成为一个完整的基团；提高了非晶硅电池的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非晶硅 薄膜 电池 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种非晶硅薄膜电池的制造装置，其特征在于，所述装置包括具有进气和出气口的真空腔室，所述真空腔室中设有加热装置和玻璃衬底，所述玻璃衬底上设有激发电极板和接地板，所述激发电极板与射频电源相连接。
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