[实用新型]一种非晶硅薄膜电池的制造装置有效
| 申请号： | 201220246428.0 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202595254U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 邓文忠 | 申请（专利权）人： | 浙江慈能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14;H01L31/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315336 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 非晶硅 薄膜 电池 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种非晶硅薄膜电池的制造装置，其特征在于，所述装置包括具有进气和出气口的真空腔室，所述真空腔室中设有加热装置和玻璃衬底，所述玻璃衬底上设有激发电极板和接地板，所述激发电极板与射频电源相连接。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激发电极板与接地板平行设置。
3.根据权利要求1或者2所述的装置，其特征在于，所述玻璃衬底设置在反应架上。
4.根据权利要求1或者2所述的装置，其特征在于，所述加热装置为电阻丝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江慈能光伏科技有限公司，未经浙江慈能光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220246428.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于针织机的输纱装置
- 下一篇：不打钎煤气发生炉专用炉箅
- 同类专利
- 专利分类
