[实用新型]一种特气管道

摘要

一种特气管道，应用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备中。该特气管道将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便进行拆卸。与现有技术相比，本实用新型提出的特气管道，可以将特气孔拆卸下来进行清洗，甚至直接更换新的带孔螺母，从而避免了将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了明显提高。

主权项

一种特气管道，其特征在于，包括：主枝，该主枝为中空的管道；多个大小一致的螺母口，以同一朝向均匀的分布于所述主枝上；对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通；第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端焊接在主枝上并与主枝保持气流畅通；第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端焊接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。