[实用新型]一种特气管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产领域，尤其是一种等离子体增强化学气相沉积用的特气管道。

背景技术

目前，太阳能电池是人类利用太阳能的有效方法之一。制备晶体硅太阳能电池的一般流程为：表面清洗及织构化、扩散、等离子体去边、清洗去磷硅玻璃、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。其中镀膜一般都用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法沉积氮化硅膜作为减反射层。这层减反射层不仅可以减少硅片表面光的反射，即增加电池片的光吸收，而且可以很好的起到表面体钝化的作用。因此，其镀膜工艺和膜层质量越来越受到人们关注。

在PECVD设备镀膜过程中，气体会通过一定数量的孔均匀的分散，使得镀膜均匀性非常好，没有色差。因此，这些孔的质量对镀膜工艺非常关键，如德国Roth&Rau公司PECVD设备上的特气管道，多个特气孔的大小一致性将直接影响镀膜工艺。

目前，最常用特气管道如图1。该特气管道包括主枝10，该主枝10为近似方形的空心管道，有四个面，在其一个面上设有多个特气孔11，如图2。分枝管道12的两端直接焊接在方形的主枝10上，并与其相通。分枝管道13的一端焊接在分枝管道12上，在其另一端有一个螺母14，该螺母14是与腔体里管道口相连的，是链接外界特气的。这种特气管道安装在腔体里，需要经常通特气孔11，保证特气孔11畅通并且大小一致，这样镀膜质量才能保证。但实际中，这种特气管道上的特气孔11非常难通，因为会沉积大量的氮化硅，而氮化硅非常硬，较难除去，因此每次清理都会花费很长的时间，直接影响到生产的产能，同时平时维护时有些孔堵塞严重后不及时更换特气管道，镀膜均匀性非常差，造成电池片色差和电性能下降。

因此，有必要提出一种新的特气管道，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种新的PECVD设备上用的特气管道，该特气管道无需定期拆卸清洗，就可以保证每个特气孔保持通畅，大大提高了PECVD镀膜设备的工作效率，同时减少了因特气孔被堵塞或者不均带来的镀膜品质问题。

根据本实用新型的目的提出的一种特气管道，包括：

主枝，该主枝为中空的管道；

多个大小一致的螺母口，以同一朝向均匀的分布于所述主枝上；

对应所述多个螺母口的多个带孔螺母，该带孔螺母的内部中空，其顶部设有特气孔，底部设有与所述螺母口相配合的螺纹，该多个带孔螺母通过该多个螺母口固定于所述主枝上并与主枝保持气流畅通；

第一分枝，该第一分枝为中空管道，其两端连接在主枝上并与主枝保持气流畅通；

第二分枝，该第二分枝为中空管道，其一端连接在第一分枝上并与第一分枝保持气流畅通，另一端连接一外部供气装置上。

优选的，所述主枝为多边形、圆形或椭圆形管道。

优选的，所述第一分枝为多边形、圆形或椭圆形管道，该第一分枝小于所述主枝。

优选的，所述第二分枝为多边形、圆形或椭圆形管道。

优选的，所述螺母口内嵌于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的外侧。

优选的，所述螺母口外突于所述主枝上，所述带孔螺母的螺纹设于该带孔螺母的内侧。

优选的，所述带孔螺母的特气孔的内径为0.5mm-2mm。

本实用新型提出的特气管道，将特气孔外设于一带孔螺母上，该带孔螺母通过螺纹旋固与主枝管道上，可方便的进行拆卸。如此一来，当特气管道使用一段时间后，需要清理沉积在特气孔周围的氮化硅时，只需要将带孔螺母旋转取下，对该带孔螺母进行清洗，必要时直接更换新的带孔螺母，而不必像现有技术中，需要将整条特气管道进行拆卸和清洗，大大节省了PECVD设备的保养时间，提高了整个工序的效率，并且由于带孔螺母易于清洗，可以保证其上的特气孔保持通畅，使得PECVD的镀膜品质也得到了提高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种现有的特气管道的结构示意图；

图2是图1中特气管道上的特气孔结构示意图；

图3是本发明的特气管道的结构示意图；

图4是图3中带孔螺母的第一实施方式的结构示意图；

图5是图3中带孔螺母的第二实施方式的结构示意图。