[实用新型]半导体基板清洗毛刷机有效
| 申请号： | 201220213820.5 | 申请日： | 2012-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN202725526U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 廖明俊;赵亮;陈建华;蒋秦苏 | 申请（专利权）人： | 矽品科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;姚姣阳 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种半导体基板清洗毛刷机，包括机台和相对称设置在所述机台上的两组支架，在两组支架之间架设有清洗机构，所述清洗机构包括一转动轴和一毛刷，在两组支架上分别开有是所述清洗机构两倍数量的轴孔，两组支架上的轴孔两两相对应，所述轴孔的孔内顶部装有弹簧，所述转动轴穿过所述两两相对应的轴孔，使所述弹簧相应的压在所述转动轴的轴壁上，所述毛刷位于两组支架之间，包裹在所述转动轴的中间部位。弹簧可调节毛刷对基板施力的大小，可在毛刷厚度不同时调节转动轴与基板的距离。使用该基板清洗毛刷机能将基板上残留的留胶渣和异物基本清除干净，且不损伤基板及基板上的芯片，良品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 毛刷 | ||
【主权项】：
一种半导体基板清洗毛刷机，包括机台（1）和相对称设置在所述机台（1）上的两组支架（2），其特征在于：在两组支架（2）之间架设有清洗机构，所述清洗机构包括一转动轴（5）和一毛刷（8），在两组支架（2）上开设有是所述清洗机构两倍数量的轴孔（4），两组支架上的轴孔（4）两两相对应，所述轴孔（4）的孔内顶部装有弹簧（6），所述转动轴（5）穿过所述两两相对应的轴孔（4），使所述弹簧（6）相应的压在所述转动轴（5）的轴壁上，所述毛刷（8）位于两组支架（2）之间，包裹并固定在所述转动轴（5）的中间部位。
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