[实用新型]半导体基板清洗毛刷机有效
| 申请号： | 201220213820.5 | 申请日： | 2012-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN202725526U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 廖明俊;赵亮;陈建华;蒋秦苏 | 申请（专利权）人： | 矽品科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;姚姣阳 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 毛刷 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体基板清洗毛刷机，包括机台（1）和相对称设置在所述机台（1）上的两组支架（2），其特征在于：
在两组支架（2）之间架设有清洗机构，所述清洗机构包括一转动轴（5）和一毛刷（8），
在两组支架（2）上开设有是所述清洗机构两倍数量的轴孔（4），两组支架上的轴孔（4）两两相对应，
所述轴孔（4）的孔内顶部装有弹簧（6），所述转动轴（5）穿过所述两两相对应的轴孔（4），使所述弹簧（6）相应的压在所述转动轴（5）的轴壁上，
所述毛刷（8）位于两组支架（2）之间，包裹并固定在所述转动轴（5）的中间部位。
2.根据权利要求1所述的半导体基板清洗毛刷机，其特征在于：在所述两组支架（2）之间、所述转动轴正下方设置有传送半导体基板（7）的传送带（3）。
3.根据权利要求2所述的半导体基板清洗毛刷机，其特征在于：所述半导体基板（7）放置在所述传送带（3）上开设的与所述基板（7）大小和厚度相应的凹槽内。
4.根据权利要求1所述的半导体基板清洗毛刷机，其特征在于：包含至少两组的所述清洗机构。
5.根据权利要求1所述的半导体基板清洗毛刷机，其特征在于：所述毛刷（8）为圆筒形海绵或轮状型海绵组合。
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