[实用新型]一种多功能组合式化学气相沉积系统装置

摘要

本实用新型公开了一种多功能组合式化学气相沉积系统装置，包括主体炉，所述主体炉包括带有导轨的支架，所述支架上设有可沿导轨滑动的高温管式炉，所述高温管式炉中的炉腔内设有穿透高温管式炉炉壁设置的炉管，该炉管两端固定在支架上，所述高温管式炉一侧设有冷却风扇；所述主体炉外可单独或组合加设连接在炉管上的真空泵、等离子发生器、密封法兰装置及强制制冷器。本实用新型结构简单、组合方便，滑动式的加热冷却模块设计有效的实现了其快热快冷的功能需求，另外通过与等离子发生器等功能模块的组装配合使用，基本完成以上所有的CVD实验功能，极大的满足了所有材料实验室的材料制备方案。

主权项

一种多功能组合式化学气相沉积系统装置，其特征在于：包括主体炉，所述主体炉包括带有导轨的支架，所述支架上设有可沿导轨滑动的高温管式炉，所述高温管式炉中的炉腔内设有穿透高温管式炉炉壁设置的炉管，该炉管两端固定在支架上，所述高温管式炉一侧设有冷却风扇；所述主体炉外可单独或组合加设连接在炉管上的真空泵、等离子发生器、密封法兰装置及强制制冷器。