[实用新型]晶体微缺陷扫描仪

摘要

晶体微缺陷扫描仪，它涉及一种检测设备。激光发生器通过螺纹连接固定于立柱上，散射信号收集器通过螺纹连接固定于激光扫描系统下部，双轴自控台通过螺纹连接固定在底座上，立柱与底座均通过螺纹连接固定于大理石平台上，大理石平台与柜架之间装设有隔震调平系统，配电箱与电脑主机放置于柜架内，悬臂通过螺纹连接固定于柜架侧面，电脑显示器通过螺纹连接固定于悬臂上，输入设备安装于悬臂板上；本实用新型能实现对晶体类产品如LED外延片、薄膜太阳能电池基板、液晶面板等在抛光及镀膜工艺过程中所产生的微细缺陷进行快速全自动扫描分析的能力；最精细级别的缺陷分辨率可达2微米。

主权项

晶体微缺陷扫描仪，其特征在于它包含激光发生器(1)、散射信号收集器(2)、立柱(3)、双轴自控台(4)、底座(5)、大理石平台(6)、隔震调平系统(7)、柜架(8)、配电箱(9)、主机(10)、悬臂(11)、电脑显示器(12)、输入设备(13)；激光发生器(1)通过螺纹连接固定于立柱(3)上，散射信号收集器(2)通过螺纹连接固定于激光扫描系统(1)下部，双轴自控台(4)通过螺纹连接固定在底座(5)上，立柱(3)与底座(5)均通过螺纹连接固定于大理石平台(6)上，大理石平台(6)与柜架(8)之间装设有隔震调平系统(7)，配电箱(9)与电脑主机(10)放置于柜架(8)内，悬臂(11)通过螺纹连接固定于柜架(8)侧面，电脑显示器(12)通过螺纹连接固定于悬臂(11)上，输入设备(13)安装于悬臂(11)板上。