[实用新型]一种硅片清洗槽有效
| 申请号： | 201220067270.0 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN202461046U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215618 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种硅片清洗槽，包括槽体、用于封闭所述槽体的槽盖、与所述槽体相对固定地设置的槽架、设置在所述槽体外部并用于驱动所述的槽盖动作的气缸、用于铰接所述的槽盖的槽架，所述的槽盖包括一端部铰接在所述的槽架上的第一槽盖、一端部与所述的第一槽盖的另一端部铰接在一起的第二槽盖，所述的气缸的活塞杆与所述的第一槽盖相铰接。本实用新型的硅片清洗槽具有结构紧凑，槽盖易于开启和关闭的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗槽，包括槽体、用于封闭所述槽体的槽盖、与所述槽体相对固定地设置的槽架、设置在所述槽体后部并用于驱动所述的槽盖动作的气缸，其特征在于：所述的槽盖包括一端部铰接在所述的槽架上的第一槽盖、一端部与所述的第一槽盖的另一端部铰接在一起的第二槽盖，所述的气缸的活塞杆与所述的第一槽盖相铰接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张家港市超声电气有限公司，未经张家港市超声电气有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220067270.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：抽油泵泵筒除油装置
- 下一篇：一种清洗机集水、回水装置
