[实用新型]一种硅片清洗槽有效
| 申请号： | 201220067270.0 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN202461046U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215618 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗槽，包括槽体、用于封闭所述槽体的槽盖、与所述槽体相对固定地设置的槽架、设置在所述槽体后部并用于驱动所述的槽盖动作的气缸，其特征在于：所述的槽盖包括一端部铰接在所述的槽架上的第一槽盖、一端部与所述的第一槽盖的另一端部铰接在一起的第二槽盖，所述的气缸的活塞杆与所述的第一槽盖相铰接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽，其特征在于：所述的第二槽盖的另一端部转动连接有滚轮，所述的滚轮与所述槽体的上端面相滚动摩擦接触。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽，其特征在于：所述的第二槽盖的长度大于等于所述的第一槽盖的长度。
4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗槽，其特征在于：所述的槽体的上端面上开设有用于引导所述的滚轮的运动方向的滚轮槽，所述的滚轮至少部分位于所述的滚轮槽内。
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