[实用新型]大流量复合分子泵有效
| 申请号： | 201220055198.X | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN202545291U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 葛明;罗进军;阎亚林 | 申请（专利权）人： | 成都无极真空科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610091 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种大流量复合分子泵，抽气系统由涡轮动片及牵引级组成，通过轴套固定在泵主轴上，泵主轴由上轴承和下轴承共同支撑。本实用新型适用于磁控溅射设备配套，设计合理，经济实用，强度高、安全性能好，提高了泵的抗气体冲击能力同时涡轮级减少，降低了对气体的压缩比，也减少了气体的摩擦发热，为大流量复合分子泵长期中真空状态创造条件，又因其结构特征泵的成本低、体积更矮、更方便安装。具有一定经济效益和社会效益。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 复合 分子 | ||
【主权项】：
一种大流量复合分子泵，其特征在于抽气系统由涡轮动片(1)及牵引级(2)组成，通过轴套(9)固定在泵主轴(6)上，泵主轴由上轴承(5)和下轴承(8)共同支撑。
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