[实用新型]大流量复合分子泵

说明书

技术领域本实用新型涉及磁控溅射设备，特别是一种大流量复合分子泵。 

背景技术现有的复合分子泵为超高真空设计，其抽气系统由多级涡轮叶片及多层牵引级构成，长期在中真空大流量下工作，会因压缩比大而过热，且涡轮叶片多造成抗气体冲击能力下降，制造成本高。 

实用新型内容

本实用新型的目的是克服上述缺点，提供一种适用于中真空领域的大流量复合分子泵。 

本实用新型技术方案是这样实现的 

一种大流量复合分子泵，其特征在于抽气系统由涡轮动片和牵引级组合构成，通过轴套固定在泵主轴上，泵主轴由上轴承和下轴承共同支撑。 

本实用新型适用于磁控溅射设备配套设计合理，经济实用，强度搞、安全性能好，提高了泵的抗气体冲击能力，同时涡轮级减少，降低了对气体的压缩比，也减少了气体的摩擦发热，为大流量复合分子泵长期中真空状态创造条件，又因其结构特征泵的成本低、体积更矮、更方便安装，具有一定经济效益和社会效益。 

附图说明图是本实用新型的结构示意图，图中1、涡轮动片；2、牵引级；3、泵抽气口；4、泵排气口；5、上轴承；6、泵主轴；7、中频电机；8、下轴承；9、轴套。 

具体实施方式

如图所示，大流量复合分子泵，其抽气系统由涡轮动片1和牵引级2组成，通过轴套9固定在泵主轴6上，泵主轴6由上轴承5和下轴承8共同支撑，中频电机7驱动泵主轴6带动涡轮动片1及牵引级2组合体，将气体由泵抽气口3压缩至排气口4，由于采用了两级涡轮动片和四层牵引级，减少了泵内的压缩发热过程，满足了泵在中真空条件下大流量长期工作的要求。