[实用新型]玻璃磁控多弧离子镀膜机

摘要

本实用新型公开一种玻璃磁控多弧离子镀膜机，真空镀膜室的前后两端分别连接有真空入料加热室以及真空出料室，入料加热室和出料室分别通过真空锁与镀膜室连通和隔离，镀膜室、入料加热室以及出料室的室腔内底部均设有传动机构，其中镀膜室的传动机构设成往复传动，镀膜室的室腔内顶部设有若干电弧蒸发离化源和若干磁控溅射源。本实用新型通过入料加热室和出料室完成玻璃入料和出料的真空过渡。镀膜室完成一次抽真空后，就可以连续地分批对玻璃进行镀膜处理，实现玻璃镀膜的连续作业。并且镀膜室同时设有电弧蒸发离化源和磁控溅射源，可同时对玻璃进行多层镀膜的复合，以适应不同镀膜玻璃的工艺要求。

主权项

一种玻璃磁控多弧离子镀膜机，包括真空镀膜室，其特征在于：所述真空镀膜室的前后两端分别连接有真空入料加热室以及真空出料室，所述真空入料加热室和真空出料室分别通过真空锁与真空镀膜室连通和隔离，所述真空镀膜室、真空入料加热室以及真空出料室的室腔内底部均设有传动机构，其中所述真空镀膜室的传动机构设成往复传动，所述真空镀膜室的室腔内顶部设有若干电弧蒸发离化源和若干磁控溅射源。