[实用新型]玻璃磁控多弧离子镀膜机有效
| 申请号： | 201220044869.2 | 申请日： | 2012-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN202482421U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 伍振良 | 申请（专利权）人： | 伍振良 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 佛山市南海智维专利代理有限公司 44225 | 代理人： | 梁国杰 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 磁控多弧 离子 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃磁控多弧离子镀膜机，包括真空镀膜室，其特征在于：所述真空镀膜室的前后两端分别连接有真空入料加热室以及真空出料室，所述真空入料加热室和真空出料室分别通过真空锁与真空镀膜室连通和隔离，所述真空镀膜室、真空入料加热室以及真空出料室的室腔内底部均设有传动机构，其中所述真空镀膜室的传动机构设成往复传动，所述真空镀膜室的室腔内顶部设有若干电弧蒸发离化源和若干磁控溅射源。
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