[实用新型]蚀刻前用清洁机有效
申请号: | 201220043299.5 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN202447326U | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 陈雪尧;梁泰频;何公明;王满根;史小军 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315800 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种蚀刻前用清洁机,包括支架以及设置于支架上的滚轮,所述滚轮包括呈轴向平行上下设置的上内滚轮和下内滚轮,并且所述上内滚轮和下内滚轮的外表面具有粘性;所述上内滚轮的上方和下内滚轮的下方分别设有上外滚轮和下外滚轮,上外滚轮的旋转方向与上内滚轮的旋转方向相反;所述下外滚轮的旋转方向与下内滚轮的旋转方向相反。该蚀刻前用清洁机,可以自动、方便地通过粘附作用清洁蚀刻片表面的加工屑或者灰尘等杂物,使其不会影响蚀刻片表面的光刻胶的涂布,而且该蚀刻前用清洁机结构简单,易于拆卸和清洗,只要更换或者清洁吸附膜即可进行蚀刻片的连续清洁,提高了蚀刻的质量,并且提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻 清洁 | ||
【主权项】:
一种蚀刻前用清洁机,包括支架(10)以及设置于支架(10)上的滚轮,其特征在于:所述滚轮包括呈轴向平行上下设置的上内滚轮(1)和下内滚轮(2),并且上内滚轮(1)和下内滚轮(2)可绕其自身的轴旋转,旋转方向相反,所述上内滚轮(1)和下内滚轮(2)之间供蚀刻片通过,并且所述上内滚轮(1)和下内滚轮(2)的外表面具有粘性;所述上内滚轮(1)的上方和下内滚轮(2)的下方分别设有上外滚轮(3)和下外滚轮(4),所述上外滚轮(3)和上内滚轮(1)呈轴向平行设置,并且上外滚轮(3)的外表面与上内滚轮(1)的外表面相互接触,所述上外滚轮(3)绕其自身的轴旋转,上外滚轮(3)的旋转方向与上内滚轮(1)的旋转方向相反;所述下外滚轮(4)和下内滚轮(2)呈轴向平行设置,所述下外滚轮(4)和下内滚轮(2)的外表面相互接触,并且下外滚轮(4)绕其自身的轴旋转,所述下外滚轮(4)的旋转方向与下内滚轮(2)的旋转方向相反。
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