[实用新型]蚀刻前用清洁机有效
申请号: | 201220043299.5 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN202447326U | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 陈雪尧;梁泰频;何公明;王满根;史小军 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315800 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 清洁 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种清洁机,特别是涉及一种蚀刻前用清洁机。
背景技术
现有的蚀刻过程中,涂敷感光胶方法是将加工好的蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上,滚轮转动后将感光胶直接涂敷在蚀刻片上,这种方法的主要缺点是:直接加工好的蚀刻片表面通常存在加工屑和各类灰尘,如果将蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上,将感光胶直接涂敷在蚀刻片上,蚀刻片表面原有的加工屑和各类灰尘,就会同感光胶一起固着在蚀刻片表面上。这些加工屑和各类灰尘存在于感光胶中,影响感光胶的涂敷质量,导致在蚀刻时出现各类蚀刻缺陷。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可清除蚀刻片表面原有的加工屑和各类灰尘的蚀刻前用清洁机。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种蚀刻前用清洁机,包括支架以及设置于支架上的滚轮,其特征在于:所述滚轮包括呈轴向平行上下设置的上内滚轮和下内滚轮,并且上内滚轮和下内滚轮可绕其自身的轴旋转,旋转方向相反,所述上内滚轮和下内滚轮之间供蚀刻片通过,并且所述上内滚轮和下内滚轮的外表面具有粘性;
所述上内滚轮的上方和下内滚轮的下方分别设有上外滚轮和下外滚轮,所述上外滚轮和上内滚轮呈轴向平行设置,并且上外滚轮的外表面与上内滚轮的外表面相互接触,所述上外滚轮绕其自身的轴旋转,上外滚轮的旋转方向与上内滚轮的旋转方向相反;
所述下外滚轮和下内滚轮呈轴向平行设置,所述下外滚轮和下内滚轮的外表面相互接触,并且下外滚轮绕其自身的轴旋转,所述下外滚轮的旋转方向与下内滚轮的旋转方向相反。
优选地,为了便于清洁,所述上外滚轮和下外滚轮的外表面上设有可拆卸的吸附膜。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于该蚀刻前用清洁机,可以自动、方便地通过粘附作用清洁蚀刻片表面的加工屑或者灰尘等杂物,使其不会影响蚀刻片表面的光刻胶的涂布,而且该蚀刻前用清洁机结构简单,易于拆卸和清洗,只要更换或者清洁吸附膜即可进行蚀刻片的连续清洁,提高了蚀刻的质量,并且提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型蚀刻前用清洁机的示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
如图1所示,该蚀刻前用清洁机包括支架10,以及位于支架10上的上内滚轮1、下内滚轮2,所述上内滚轮1和下内滚轮2的轴上下平行设置,并且上内滚轮1和下内滚轮2可绕其自身的轴旋转,旋转方向相反。并且该上内滚轮1和下内滚轮2的表面粗糙,具有粘性,可以吸附蚀刻片上的加工屑和各类灰尘,蚀刻片从该上内滚轮1和下内滚轮2之间通过。
在该上内滚轮1的上方和下内滚轮2的下方还分别设有上外滚轮3和下外滚轮4,所述上外滚轮3的轴和上内滚轮1的轴平行设置,上外滚轮3的外表面与上内滚轮1的外表面相互接触,并且上外滚轮3绕其自身的轴旋转,上外滚轮3的旋转方向与上内滚轮1的旋转方向相反。所述下外滚轮4的轴和下内滚轮2的轴平行设置,所述下外滚轮4和下内滚轮2的外表面相互接触,并且下外滚轮4绕其自身的轴旋转,下外滚轮4的旋转方向与下内滚轮2的旋转方向相反。
该上外滚轮3和下外滚轮4的外表面上均分别设置有可拆卸的吸附膜5,吸附膜5与上内滚轮1和下内滚轮2接触,因此当蚀刻片从上内滚轮1和下内滚轮2之间通过时,蚀刻片上的加工屑和灰尘会被上内滚轮1和下内滚轮2的外表面所吸附,而这些加工屑和灰尘会通过吸附膜5吸附在上外滚轮3和下外滚轮4的外表面上,进而完成蚀刻片的清洁,清洁完蚀刻片后,可以如图1所示,将上外滚轮3和下外滚轮4拆卸下,然后将表面的吸附膜5拆下进行清洁或者更换即可。
该蚀刻前用清洁机,可以自动、方便地通过粘附作用清洁蚀刻片表面的加工屑或者灰尘等杂物,使其不会影响蚀刻片表面的光刻胶的涂布,而且该蚀刻前用清洁机结构简单,易于拆卸和清洗,只要更换或者清洁吸附膜即可进行蚀刻片的连续清洁,提高了蚀刻的质量,并且提高了生产效率。
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