[实用新型]一种石墨舟卡点

摘要

本实用新型公开了一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。所述圆柱形固定柱的厚度为2.5mm，直径为9mm。所述菱形卡点的尺寸为6mm*4mm。使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜。本实用新型的菱形卡点的使用寿命长：卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2mm时，遮盖的面积是3.992mm2，而菱形卡点磨损到1.2mm时，遮盖面积只有1.979mm2，这时还可以使用，当磨损到插入深度为2.0mm时，遮盖面积才到3.839mm2，因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。

主权项

一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，其特征在于：所述圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。