[实用新型]一种石墨舟卡点

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟卡点，属于太阳能电池片生产PECVD(等离子增强型化学气相沉积)领域。

背景技术

目前，现有的太阳能电池片生产PECVD当中使用的是石墨舟圆形卡点，用于卡住石墨舟片当中的硅片，以便在进行放电反应时有较良好的通电，使氮化硅沉积在硅片的表面，形成80-85AM厚的氮化硅膜。但硅片和卡点接触的部分由于被卡点遮挡没有形成氮化硅膜，致使最终电池边缘有一定的瑕疵。

发明内容

针对上述现有技术，为降低电池片边缘卡点印，提高电池片表面美观度，本实用新型提供了一种石墨舟卡点，其呈菱形。本实用新型以圆形面积大于菱形面积为理论点，将现有的圆形卡点重新切割成菱形卡点，减少了卡点遮挡硅片的面积，进而将沉积在硅片表面的氮化硅膜最大化。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，圆柱形固定柱两侧设有菱形卡点。

所述圆柱形固定柱的厚度为2.5mm，直径为9mm。

所述菱形卡点的尺寸为6mm*4mm(即：菱形的长对角线的长度为6mm，短对角线的长度为4mm)。

所述石墨舟卡点的材质和石墨舟本身的材质相同，可适用于所有炉体式国产设备和进口设备，可改善所有同类设备进行量产。

使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜(常规操作)。

在形状和构造上，本实用新型的菱形卡点遮盖面积小，一般圆形卡点(按直径6mm计算)在硅片上的遮盖面积是1.472mm²，而本实用新型的菱形卡点(按尺寸为6mm*4mm计算)遮盖面积是0.619mm²，大大小于圆形卡点的遮盖面积。硅片在圆形卡点和菱形卡点上的插入深度都是0.5mm，所以硅片在石墨舟上的牢固度是一样的，不会产生掉片。

本实用新型的菱形卡点的使用寿命长：卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2mm时，遮盖的面积是3.992mm²(这时一般就需要重新更换)，而菱形卡点磨损到1.2mm时，遮盖面积只有1.979mm²，这时还可以使用，当磨损到插入深度为2.0mm时，遮盖面积才到3.839mm²，因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。

在太阳能电池片生产当中，对硅片表面进行镀膜处理。由于卡点的存在会使电池片表面形成部分遮挡。本实用新型的菱形卡点的使用将遮挡面积降低，同时保证了良好的定位效果，且使用寿命长，可以预见将会有良好的应用前景。

附图说明

图1为本实用新型的菱形卡点的结构示意图(主视图)；

图2为图1的俯视图；

图3为现有技术中圆形卡点的结构示意图(主视图)；

图4为图3的俯视图。

其中，1、圆柱形固定柱；2、菱形卡点；3、圆形卡点；阴影部分表示遮挡部分。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

一种石墨舟卡点，包括圆柱形固定柱，如图1、图2所示，圆柱形固定柱1两侧设有菱形卡点2。圆柱形固定柱1的厚度为2.5mm，直径为9mm。菱形卡点2的尺寸为6mm*4mm(即：菱形的长对角线的长度为6mm，短对角线的长度为4mm)。

所述石墨舟卡点的材质和石墨舟本身的材质相同，可适用于所有炉体式国产设备和进口设备，可改善所有同类设备进行量产。

使用时，将硅片插入到石墨舟中卡点位置，由机械臂送入机器当中运行；完成工艺后形成菱形卡点的膜(常规操作)。

在形状和构造上，本实用新型的菱形卡点遮盖面积小，一般圆形卡点3(按直径6mm计算，如图3、图4所示)在硅片上的遮盖面积是1.472mm²，而本实用新型的菱形卡点2遮盖面积是0.619mm²，大大小于圆形卡点3的遮盖面积。硅片在圆形卡点3和菱形卡点2上的插入深度都是0.5mm，所以硅片在石墨舟上的牢固度是一样的，不会产生掉片。

本实用新型的菱形卡点的使用寿命长：卡点更换是看遮盖面积的大小，当卡点磨损后遮盖面积大到一定程度时，此时卡点需要更换，圆形卡点磨损到插入深度为1.2mm时，遮盖的面积是3.992mm²(这时一般就需要重新更换)，而菱形卡点磨损到1.2mm时，遮盖面积只有1.979mm²，这时还可以使用，当磨损到插入深度为2.0mm时，遮盖面积才到3.839mm²，因此，本实用新型的菱形卡点的可使用寿命比圆形卡点要长。