[实用新型]SILAR薄膜制备一体仪有效
| 申请号： | 201220018950.3 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN202516740U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 李晓明 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B05C3/09 | 分类号： | B05C3/09;B05D1/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种SILAR薄膜制备一体仪，包括薄膜制样室以及管式炉，薄膜制样室与管式炉的一端通过外部石英管道连通，所述薄膜制样室内分别安装制模装置以及推料装置，所述推料装置用于将薄膜处理后的衬底样品通过石英管道推送至管式炉内；薄膜制样室开设有操作口，所述操作口用于放置或者移动衬底样品至合适位置。本实用新型利用自动控制系统控制溶液温度、浸润反应时间、循环次数，并将预制备的薄膜直接送入管式炉退火，退火温度和时间可预先设定；制样室内储有干燥剂及还原剂，可消除水蒸气及氧等氧化性物质的影响；备用旋转支架可满足多元化合物及同参数多个样品的制备。 | ||
| 搜索关键词： | silar 薄膜 制备 一体 | ||
【主权项】：
一种SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：包括薄膜制样室（1）以及管式炉（2），薄膜制样室（1）与管式炉（2）的一端通过外部石英管道（10）连通，所述薄膜制样室（1）内分别安装制模装置以及推料装置，所述制模装置包括升降柱（8），升降柱（8）上部设置旋转支架（6），旋转支架（6）端部设置衬底夹，用于夹住待制备薄膜的衬底样品，对应支架端部位置均匀布置至少3个溶液槽（9）；所述推料装置用于将薄膜处理后的衬底样品通过石英管道推送至管式炉内；薄膜制样室开设有操作口（15），所述操作口用于放置或者移动衬底样品至合适位置；薄膜制样室内设置真空或者尾气处理设备（16）。
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