[实用新型]SILAR薄膜制备一体仪有效
| 申请号： | 201220018950.3 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN202516740U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 李晓明 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B05C3/09 | 分类号： | B05C3/09;B05D1/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | silar 薄膜 制备 一体 | ||
1.一种SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：包括薄膜制样室（1）以及管式炉（2），薄膜制样室（1）与管式炉（2）的一端通过外部石英管道（10）连通，所述薄膜制样室（1）内分别安装制模装置以及推料装置，所述制模装置包括升降柱（8），升降柱（8）上部设置旋转支架（6），旋转支架（6）端部设置衬底夹，用于夹住待制备薄膜的衬底样品，对应支架端部位置均匀布置至少3个溶液槽（9）；所述推料装置用于将薄膜处理后的衬底样品通过石英管道推送至管式炉内；薄膜制样室开设有操作口（15），所述操作口用于放置或者移动衬底样品至合适位置；薄膜制样室内设置真空或者尾气处理设备（16）。
2.如权利要求1所述SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：薄膜制样室外壁上设置自动控制面板（3），用于自动控制旋转支架（6）的旋转、升降柱（8）的升降；管式炉外壁上设置智能温控仪（4），用于调节管式炉的温度。
3.如权利要求1或2所述SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：所述推料装置包括机械手（11）、内部石英管道（5）以及石英舟（14），内部石英管道（5）与外部石英管道（10）连通设置，操作口（15）用于将薄膜处理后的衬底样品放置于石英舟（14）上，所述机械手用于推送石英舟（14）至管式炉内。
4.如权利要求3所述SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：所述管式炉（2）的另一端连接设置真空或者尾气处理设备（16）。
5.如权利要求4所述SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：所述旋转支架（6）至少有2个端部。
6.如权利要求5所述SILAR薄膜制备一体仪，其特征在于：所述薄膜制样室（1）内还设置有水浴槽（13），所述溶液槽（9）放置在水浴槽（13）中，水浴的温度通过自动控制面板（3）调节。
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