[实用新型]晶棒切片后的装卸装置有效
申请号: | 201220015981.3 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN202528329U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 魏聪 | 申请(专利权)人: | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;赵爱军 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种晶棒切片后的装卸装置,包括:具有容纳空间的盛放器,其开设有便于工件板和晶片进入其容纳空间内的开口;用于穿装工件板的导轨,固定于所述盛放器内,其一端设于所述盛放器的开口处;以及,用于承接脱胶后的晶片的接片装置,其设于所述盛放器内,并位于所述导轨的下方。本实用新型晶棒切片后的装卸装置可在晶棒切片后,通过工件板与盛放器内的导轨配合,而直接将工件板及粘结在工件板上的晶片划入到盛放器内,之后将装载有工件板和晶片的盛放器直接置于温水中进行脱胶,晶片脱胶后自动落入接片装置内,这样便避免了工件板从切片机上拆卸后的搬运及翻转过程,减少了人工操作,避免晶片划伤,操作简单。 | ||
搜索关键词: | 切片 装卸 装置 | ||
【主权项】:
一种晶棒切片后的装卸装置,其特征在于,包括:具有容纳空间的盛放器,其开设有便于工件板和晶片进入其容纳空间内的开口;用于穿装工件板的导轨,固定于所述盛放器内,其一端设于所述盛放器的开口处;以及,用于承接脱胶后的晶片的接片装置,其设于所述盛放器内,并位于所述导轨的下方。
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