[实用新型]具有高能量利用率的新型孔径光阑有效
| 申请号： | 201220013535.9 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202486496U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 郭毛醒;张昌清;李文静;何少峰;刘文海 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 方峥 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有高能量利用率的新型孔径光阑，包括有光阑盘，光阑盘上开有一个光阑孔，光阑孔为长条形，光阑孔的主体部分为矩形，两端的端口部分为半圆形。本实用新型设计合理，在扫描方向上增加了系统的分辨率，由于扫描运动的补偿，在此方向上的静态成像出现的边缘凸凹不平的现象会被消除，使其边缘又重新恢复平滑。从而使其不会损失系统的成像质量，而能大大的提高系统的能量利用率，达到提高产能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 高能量 利用率 新型 孔径 光阑 | ||
【主权项】：
一种具有高能量利用率的新型孔径光阑，包括有光阑盘，光阑盘上开有一个光阑孔，其特征在于：所述光阑孔为长条形，光阑孔的主体部分为矩形，两端的端口部分为半圆形。
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