[实用新型]具有高能量利用率的新型孔径光阑有效
| 申请号： | 201220013535.9 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202486496U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 郭毛醒;张昌清;李文静;何少峰;刘文海 | 申请（专利权）人： | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 方峥 |
| 地址： | 230601 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 高能量 利用率 新型 孔径 光阑 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有高能量利用率的新型孔径光阑，包括有光阑盘，光阑盘上开有一个光阑孔，其特征在于：所述光阑孔为长条形，光阑孔的主体部分为矩形，两端的端口部分为半圆形。
2.根据权利要求1所述的具有高能量利用率的新型孔径光阑，其特征在于：所述光阑孔的主体部分的长度等于扫描方向的频谱长度；宽度大于或等于中心亮斑的直径，小于垂直于扫描方向的+1级与-1级亮斑的最短距离，两端的端口部分的直径等于主体部分的宽度。
3.根据权利要求1所述的具有高能量利用率的新型孔径光阑，其特征在于：所述光阑盘的放置方向为光阑孔的主体部分的长边平行于扫描方向，主体部分的中心与空间频谱的中心位置重合。
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