[实用新型]凸轮锁定的网状电极及其组件

摘要

一种凸轮锁定的网状电极及其组件，其用于等离子体蚀刻，包括在网状电极和支撑板之间提供了改善的热接触的凸轮锁。所述凸轮锁包括在支撑板内的凸轮轴，该凸轮轴与安装在所述网状电极上的立柱的扩大头部接合。所述组件可包括环绕所述网状电极的环状护罩，并且所述支撑板内的八个凸轮轴能够被操作使得每个凸轮轴同时与所述环状护罩上的立柱和所述网状电极上的外排的立柱中的立柱接合。另外八个凸轮轴能够被操作使得每个凸轮轴与所述网状电极上的内排和中排的立柱中的一对立柱接合。

主权项

一种凸轮锁定的网状电极，其适于使用在电容耦合式等离子体处理室中的网状电极组件中，其中所述网状电极组件包括具有气体喷射孔的支撑板，所述气体喷射孔在该支撑板的上表面和下表面之间延伸，防护环，对准环，将网状电极连接到支撑板上的多个紧固件，以及多个定位销；所述网状电极包括：在该网状电极下表面上的等离子体暴露表面；在该网状电极上表面上的安装表面；该网状电极外圆周上的环状台阶，该环状台阶被配置成支撑所述防护环；在该网状电极的等离子体暴露表面和安装表面之间延伸的并且被设置成与所述支撑板内的气体喷射孔模式相匹配的多个气体喷射孔；多个在所述安装表面内的被配置成接收所述定位销的没有螺纹的盲孔；在所述安装表面内的被配置成接收所述对准环的环状凹槽；以及在所述安装表面内的被配置成接收将网状电极连接到所述支撑板的紧固件的多排同心圆排螺纹盲孔，这些同心圆排包括内排，其位于半径为从所述网状电极的中心至其外边缘的总距离的1/8至1/2之间，中排，其位于半经为从所述网状电极的中心至外边缘的总距离的1/2至3/4之间，和外排，其位于半径为从所述网状电极的中心至外边缘的总距离的3/4至7/8之间。