[实用新型]凸轮锁定的网状电极及其组件

权利要求书

1.一种凸轮锁定的网状电极，其适于使用在电容耦合式等离子体处理室中的网状电极组件中，其中所述网状电极组件包括具有气体喷射孔的支撑板，所述气体喷射孔在该支撑板的上表面和下表面之间延伸，防护环，对准环，将网状电极连接到支撑板上的多个紧固件，以及多个定位销；所述网状电极包括：

在该网状电极下表面上的等离子体暴露表面；

在该网状电极上表面上的安装表面；

该网状电极外圆周上的环状台阶，该环状台阶被配置成支撑所述防护环；

在该网状电极的等离子体暴露表面和安装表面之间延伸的并且被设置成与所述支撑板内的气体喷射孔模式相匹配的多个气体喷射孔；

多个在所述安装表面内的被配置成接收所述定位销的没有螺纹的盲孔；

在所述安装表面内的被配置成接收所述对准环的环状凹槽；以及

在所述安装表面内的被配置成接收将网状电极连接到所述支撑板的紧固件的多排同心圆排螺纹盲孔，这些同心圆排包括内排，其位于半径为从所述网状电极的中心至其外边缘的总距离的1/8至1/2之间，中排，其位于半经为从所述网状电极的中心至外边缘的总距离的1/2至3/4之间，和外排，其位于半径为从所述网状电极的中心至外边缘的总距离的3/4至7/8之间。

2.根据权利要求1所述的凸轮锁定的网状电极，其中所述网状电极具有17英寸的外径，所述气体喷射孔具有小于或者等于0.04英寸的直径，该气体喷射孔被配置成在所述网状电极的中心的一个中心气体喷射孔和八排同心圆排气体喷射孔，

第一排具有七个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约0.6-0.7英寸的半径距离内；

第二排具有十七个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约1.3-1.4英寸的半径距离内；

第三排具有二十八个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约 2.1-2.2英寸的半径距离内；

第四排具有四十个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约2.8-3.0英寸的半径距离内；

第五排具有四十八个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约3.6-3.7英寸的半径距离内；

第六排具有五十六个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约4.4-4.5英寸的半径距离内；

第七排具有六十四个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约5.0-5.1英寸的半径距离内；

第八排具有七十二个气体喷射孔，它们位于距离所述网状电极的中心约5.7-5.8英寸的半径距离内；

每一排的气体喷射孔在角度上是等间隔的。

3.根据权利要求1所述的凸轮锁定的网状电极，其中所述多排同心圆排螺纹盲孔在其每一排包括八个具有深度约为0.2英寸并且螺纹尺寸为7/16-28的螺纹盲孔，所述内排位于距离网状电极的中心约2.5英寸的径向距离处，所述中排位于距离网状电极的中心约5.4英寸的径向距离处，以及所述外排位于距离网状电极的中心约7.7英寸的径向距离处。

4.根据权利要求3所述的凸轮锁定的网状电极，其中通过所述网状电极中心的直线经过所述内排中的两个螺纹盲孔和所述中排中的两个螺纹盲孔。

5.根据权利要求3所述的凸轮锁定的网状电极，其中所述外排的螺纹盲孔从所述中排的螺纹盲孔偏置25.5°或者19.5°。

6.根据权利要求1所述的凸轮锁定的网状电极，其中所述多个被配置成接收所述定位销的没有螺纹的盲孔包括第一组孔和第二组孔；

所述第一组孔包括两个孔，它们：（a）位于距所述网状电极中心约1.7-1.8英寸的半径距离处；（b）相互径向对齐并且在角度上偏置约175°，该两个孔中的一个与所述内排的螺纹盲孔中的一个在角度上对齐；（c）具有约0.10-0.12英寸的直径；（d）具有至少约0.1英寸的深度；

所述第二组孔包括第一孔、第二孔和第三孔，这些孔：（a）位于距所述网状电极的中心约7.9-8.0英寸的半径距离处；（b）所述第一孔从所述中排 的螺纹盲孔中的一个在角度上逆时针偏置约15°；（c）所述第二和第三孔与所述第一孔径向对齐并且从所述第一孔在角度上偏置约115°和约120°；（d）具有约0.11-0.12英寸的直径；（e）具有至少0.1英寸的深度。