[发明专利]显微镜

摘要

本发明有关一种显微镜，能容易地在短时间指定试料上的红外光、紫外光或可见光等测定光的照射位置，包括检测部、第一图像获取部及切换镜或分束器。检测部对测定光进行检测。第一图像获取部使可见光入射至检测面获取光学像。切换镜或分束器配置在将从试料上的分析位置而来的测定光引至检测部的光路上，通过切换或分割光路，将可见光引导至第一图像获取部的检测面。显微镜能使试料相对于检测部及第一图像获取部而移动，且还包括：第二图像获取部，配置在非导向于检测部的光路上的位置，通过将可见光引导至检测面，从而获取试料表面包含分析位置的大区域的光学像，所述大区域的光学像比由第一图像获取部获取的试料表面包含分析位置的区域的光学像大。

主权项

一种显微镜，包括：测定光源部，对试料上的分析位置出射测定光；可见光源部，对所述试料上的包含分析位置的区域出射可见光；检测部，对来自所述试料上的分析位置的测定光进行检测；第一图像获取部，使来自所述试料上的包含分析位置的区域的可见光入射至检测面，以获取光学像；以及光束分离装置，配置在将从所述试料上的分析位置而来的测定光引导至检测部的光路上，通过切换或分割所述光路，从而将来自所述试料上的包含分析位置的区域的可见光引导至所述第一图像获取部的检测面，且所述显微镜能够使所述试料相对于所述检测部及所述第一图像获取部而移动，所述显微镜的特征在于包括：第二图像获取部，配置在非导向于所述检测部的光路上的位置，通过将所述可见光引导至检测面，从而获取所述试料表面上的包含分析位置的大区域的光学像，所述大区域的光学像比由所述第一图像获取部获取的所述试料表面上的包含分析位置的区域的光学像大。