[发明专利]显微镜

权利要求书

1.一种显微镜，包括：

测定光源部，对试料上的分析位置出射测定光；

可见光源部，对所述试料上的包含分析位置的区域出射可见光；

检测部，对来自所述试料上的分析位置的测定光进行检测；

第一图像获取部，使来自所述试料上的包含分析位置的区域的可见光入射至检测面，以获取光学像；以及

光束分离装置，配置在将从所述试料上的分析位置而来的测定光引导至检测部的光路上，通过切换或分割所述光路，从而将来自所述试料上的包含分析位置的区域的可见光引导至所述第一图像获取部的检测面，且

所述显微镜能够使所述试料相对于所述检测部及所述第一图像获取部而移动，所述显微镜的特征在于包括：

第二图像获取部，配置在非导向于所述检测部的光路上的位置，通过将所述可见光引导至检测面，从而获取所述试料表面上的包含分析位置的大区域的光学像，所述大区域的光学像比由所述第一图像获取部获取的所述试料表面上的包含分析位置的区域的光学像大。

2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于所述第二图像获取部具有缩放机构，所述缩放机构能够将获取的大区域的光学像缩小或放大。

3.根据权利要求1或2所述的显微镜，其特征在于所述第二图像获取部是在与将测定光引导至所述检测部的光学系统为不同的光轴上获取可见光，

所述显微镜包括控制部，所述控制部对由所述第二图像获取部获取的大区域的光学像的畸变进行修正，以使所述大区域的光学像在与将测定光引导至所述检测部的光学系统相同的光轴上被获取，并显示大区域光学像图像。

4.根据权利要求1或2所述的显微镜，其特征在于其包括：

试料设置机构，能够使载置有所述试料的试料载台移动。

5.根据权利要求4所述的显微镜，其特征在于所述控制部同时显示或切换显示由所述第一图像获取部获取的光学像图像与所述大区域光学像图像。

6.根据权利要求5所述的显微镜，其特征在于所述控制部在所述大区域光学像图像上显示光学像位置图像或者分析位置图像中至少之一，所述光学像位置图像表示由所述第一图像获取部获取的光学像图像的位置，所述分析位置图像表示所述分析位置。

7.根据权利要求6所述的显微镜，其特征在于所述控制部通过利用输入装置来对所述大区域光学像图像上的光学像位置图像或分析位置图像的位置进行操作，从而使所述试料载台移动。

8.根据权利要求6所述的显微镜，其特征在于当所述试料载台沿引导至所述检测部的光路方向移动时，所述第二图像获取部使视野中心方向发生变化，以使所述试料表面上的所述第一图像获取部的视野中心与所述第二图像获取部的视野中心一致。

9.根据权利要求1或2所述的显微镜，其特征在于其包括：

光学元件，对来自所述测定光源部的测定光进行聚光，并照射至所述试料上的分析位置，并且对来自所述试料上的包含分析位置的区域的光进行聚光并出射光，

所述光学元件是具有卡塞格伦镜主镜与卡塞格伦镜副镜的卡塞格伦镜，

用于引导至所述第二图像获取部或第二图像获取部的检测面的光学系统配置在所述卡塞格伦镜副镜的背面。

10.根据权利要求9所述的显微镜，其特征在于所述第二图像获取部在与将测定光引导至所述检测部的光学系统相同的光轴上获取可见光，

所述控制部是将由所述第二图像获取部获取的大区域的光学像显示为大区域光学像图像的控制部。

11.根据权利要求9所述的显微镜，其特征在于所述第一图像获取部与所述第二图像获取部的合焦范围重叠。