[发明专利]电极基板及具有该电极基板的电路图案检查装置无效
| 申请号： | 201210590237.0 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103308813A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 羽森宽;鬼塚好弘;中村智宣 | 申请（专利权）人： | OHT株式会社;株式会社鬼塚硝子 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电极基板、以及具有该电极基板的电路图案检查装置。在电路图案检查装置的检查中所使用的传感器电极基板或供电电极基板为，将形成配线构图之后的玻璃板贴合，从玻璃板切下玻璃片，在厚度方向上贴合其他玻璃片，制作电极基板，由此成为形成了贯穿基板正反面的贯通配线的电极基板。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 电路 图案 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种电极基板，其特征在于，具有：至少一条贯通配线，形成为贯穿为矩形的第一部分电极基板的至少一面；基板，以所述第一部分电极基板的所述贯通配线贯穿表面与背面的方向，在与包含形成有所述贯通配线的一面的所述表面正交方向上的一侧面或侧面两侧，集合、排列形成为矩形且未形成配线的多个第二部分电极基板，以希望的大小而一体地接合固定而成；电极，与所述基板表面侧的所述贯通配线的一端部电连接；电极焊盘，与所述基板背面侧的所述贯通配线的另一端部电连接。
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