[发明专利]电极基板及具有该电极基板的电路图案检查装置

权利要求书

1.一种电极基板，其特征在于，具有：

至少一条贯通配线，形成为贯穿为矩形的第一部分电极基板的至少一面；

基板，以所述第一部分电极基板的所述贯通配线贯穿表面与背面的方向，在与包含形成有所述贯通配线的一面的所述表面正交方向上的一侧面或侧面两侧，集合、排列形成为矩形且未形成配线的多个第二部分电极基板，以希望的大小而一体地接合固定而成；

电极，与所述基板表面侧的所述贯通配线的一端部电连接；

电极焊盘，与所述基板背面侧的所述贯通配线的另一端部电连接。

2.一种电极基板，其特征在于，具有：

贯通配线，形成为贯穿为矩形的第一部分电极基板的至少一面；

多个第二部分电极基板，形成为所述矩形、未形成配线；

在多个所述第一部分电极基板上，将多个所述第二部分电极基板排列、集合成希望的大小，并且改变所述第一部分电极基板的方向，以在内部电连接多个所述贯通配线的露出于表面的端部与露出于背面侧的端部，而，从而阶梯状地配置所述第一部分电极基板和所述第二部分电极基板。

3.如权利要求1或2所述的电极基板，其特征在于，在一体地接合固定所述第一部分电极基板与所述第二部分电极基板时，所述贯通配线作为基板形成时的定位标识。

4.一种电路图案检查装置，其特征在于，具有：

传感器电极基板，其包括：贯通配线，在形成为矩形的部分电极基板的侧面形成为贯穿该侧面；基板，在具有所述贯通配线的部分电极基板上集合形成为矩形的多个部分电极基板而成为希望的大小、并且以所述第一部分电极基板的所述贯通配线贯穿表面与背面的方向、在与包含形成有所述贯通配线的面的所述表面正交的方向上的侧面两侧被一体地接合固定而成；传感器电极，与该基板表面侧的所述贯通配线的一端部电连接；信号引出用电极焊盘，与所述基板背面侧的所述贯通配线的另一端部电连接；

供电电极基板，其包括：所述基板、与该基板表面侧的所述贯通配线的一端部电连接的供电电极、与所述基板背面侧的所述贯通配线的另一端部电连接的信号施加用电极焊盘；

移动部，将多个导电图案形成为列状的基板作为检查对象、一体地保持各所述传感器电极基板及所述供电电极基板、使所述传感器电极及所述供电电极与一个导电图案相对、并且在所述导电图案的上方分离一定的距离、在与该导电图案列交叉的方向上移动；

检查部，在通过所述移动部使所述供电电极与所述传感器电极移动过程中，从所述供电电极向电容耦合后的导电图案供给由交流信号形成的检查信号、并且获取从正在进行电容耦合的所述导电图案向所述传感器电极传输的所述检查信号；

缺陷判断部，将由所述传感器电极获得的检测信号的峰值与预先确定的判断基准值相比较、判断是否存在缺陷。