[发明专利]单点确定晶圆测试范围的方法有效
| 申请号： | 201210589640.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103063185B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 罗杨;刘国敬;霍杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙)11004 | 代理人： | 朱丽岩,刘湘舟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单点确定晶圆测试范围的方法，包括以下步骤计算晶圆Map分布图上启测点晶粒的理论Map坐标；通过人工方式录入晶圆上启测点晶粒的当前电机脉冲坐标；根据所述当前电机脉冲坐标计算所述晶圆上启测点晶粒的实际Map坐标；根据所述理论Map坐标和实际Map坐标间的坐标映射关系，确定晶圆的实际测试范围。本发明方法由于仅仅是通过晶圆上指定的一个特殊位置的晶粒，即启测点晶粒的坐标映射关系来计算出整个晶圆的测试范围，相比较于目前所述的两点或三点确定圆心的方法操作更简单，且测试范围也能准确定位。 | ||
| 搜索关键词： | 单点 确定 测试 范围 方法 | ||
【主权项】：
一种单点确定晶圆测试范围的方法，其特征在于，包括以下步骤：计算晶圆Map分布图上启测点晶粒的理论Map坐标；通过人工方式，录入晶圆上启测点晶粒的当前电机脉冲坐标；根据所述当前电机脉冲坐标计算所述晶圆上启测点晶粒的实际Map坐标；根据所述启测点晶粒的理论Map坐标和启测点晶粒的实际Map坐标间的坐标映射关系，确定晶圆的实际测试范围，是指通过所述启测点晶粒的理论Map坐标和启测点晶粒的实际Map坐标间的映射关系确定出启测点的理论Map坐标和实际Map坐标间的坐标偏移量，然后根据所述坐标偏移量结合固定圆心算法来确定晶圆的实际测试范围。
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