[发明专利]晶体生长装置有效
申请号: | 201210589279.2 | 申请日: | 2012-12-29 |
公开(公告)号: | CN103898598A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 章绍汉 | 申请(专利权)人: | 富泰华精密电子(郑州)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 450000 河南省郑州经济开*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种晶体生长装置,其包括第一箱体以及第二箱体,该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室,该第二箱体包括第二本体以及提拉杆,该第二本体内开设有冷却腔体及转移腔体,该提拉杆上可拆卸地装设有第一籽晶杆,该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构,该控制机构包括转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件,该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开,该第二箱体还包括隔板以及第二籽晶杆,该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开,该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通,以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。该晶体生长装置可以缩短晶体的生产周期。 | ||
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【主权项】:
一种晶体生长装置,其包括第一箱体以及设置于该第一箱体上的第二箱体,该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室,该第二箱体包括第二本体以及提拉杆,该第二本体内开设有冷却腔体,其特征在于:该第二本体包括与该长晶室连通的转移腔体,该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆,该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构,该控制机构包括转动地设置于该第二本体内的转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件,该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开,该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该冷却腔体内的第二籽晶杆,该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开,该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通,以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。
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