[发明专利]晶体生长装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种晶体生长装置，尤其涉及一种应用于导模法生长晶体的晶体生长装置。

背景技术

晶体例如蓝宝石(Sapphire)，其具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性。因而被作为视窗材料广泛应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光中。常用的蓝宝石晶体成型方法有泡生法、柴氏法、热交换法、导模法以及温度梯度法。导模法能够直接成型具有所需外形的蓝宝石晶体，因而可以简化制造工序以及提高材料利用率。导模法所采用的晶体生长装置一般包括长晶室以及位于长晶室上方且与长晶室连通的冷却腔体，提拉杆提拉成型晶体并将晶体提拉至冷却腔体中冷却，冷却后取出晶体，但是这种晶体生长装置生产晶体所需生产周期较长。

发明内容

鉴于上述内容，有必要提供一种能够缩短生产周期的晶体生长装置。

一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，该第二本体包括与该长晶室连通的转移腔体，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构，该控制机构包括转动地设置于该第二本体内的转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件，该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该冷却腔体内的第二籽晶杆，该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开，该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通，以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。

一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，该冷却腔体为多个且并列设置，该第二本体内还开设有与该长晶室相连通的转移腔体，该转移腔体与该多个冷却腔体中末端的一个冷却腔体相连通，该晶体生长装置还包括分别装设于该转移腔体与该末端冷却腔体之间、相邻两个冷却腔体之间的多个控制机构，该控制机构包括转移件以及隔开组件，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该转移件转动地设置于该第二本体内，该隔开组件将该转移腔体与末端的冷却腔体，以及该多个冷却腔体互相隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该多个冷却腔体中的多个第二籽晶杆，该隔板活动地设置于将该转移腔体中以将该转移腔体与该长晶室隔开，该多个隔开组件能够移动使该转移腔体与该末端冷却腔体或者相邻两个冷却腔体相通，以供该转移件将第一籽晶杆与该末端冷却腔体内的第二籽晶杆交换或者从一个冷却腔体向远离该转移腔体的相邻冷却腔体内转移。

由于控制机构设置于转移腔体与冷却腔体之间，使得晶体于冷却腔体中冷却时，提拉杆继续于长晶室中进行长晶作业，因而可以缩短晶体的生产周期。

附图说明

图1为本发明第一实施方式的晶体生长装置的剖面示意图。

图2为图1所示晶体生长装置处于长晶作业过程的剖面示意图。

图3为图1所示晶体生长装置中晶体转移过程的剖面示意图。

图4为本发明第二实施方式的晶体生长装置的剖面示意图。

主要元件符号说明