[发明专利]一种平面运动测量装置及方法有效
| 申请号： | 201210586818.7 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103900478B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李新振;齐芊枫;梁德志;李进春 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面运动测量装置及方法，用于测量运动体在平面上X、Y及Rz方向的位移，该装置包括三组一维光栅测量机构，其中两组一维光栅测量机构位于所述运动体的X方向上，另外一组一维光栅测量机构位于所述运动体的Y方向上，其中，每组一维光栅测量机构包括两组移动副以及一组转动副，所述两组移动副的移动方向垂直，所述转动副与其中一组移动副可旋转式连接。本发明中，运动体在每组一维光栅测量机构处都会产生X、Y、Rz三个方向上的位移，而每组一维光栅测量机构只测量所述运动体在X方向或Y方向上的位移，其余两个方向上的位移通过所述移动副以及转动副实现解耦，从而完成运动体在平面上X、Y及Rz方向的位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 运动 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种平面运动测量装置，用于测量运动体在平面上X、Y及Rz方向的位移，其特征在于，包括三组一维光栅测量机构，其中两组一维光栅测量机构位于所述运动体的X方向上，另外一组一维光栅测量机构位于所述运动体的Y方向上，其中，每组一维光栅测量机构包括两组移动副以及一组转动副，所述两组移动副的移动方向垂直，所述转动副与其中一组移动副可旋转式连接。
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