[发明专利]微粗糙度二氧化钒薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 201210585799.6 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103243317A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 高彦峰;罗宏杰;陈长;杜靖;金平实 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08;G02B1/10;C03C17/23 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微粗糙度二氧化钒薄膜及其制备方法，包括：配制含钒离子、成膜促进剂和相分离组分的前驱体溶液，所述相分离组分为能够在前躯体成膜后干燥过程中从前躯体膜中单独析出，产生均匀分散的异相团聚体的物质；采用所述前驱体溶液在衬底上形成前驱体薄膜，干燥形成不均匀薄膜；以及所述不均匀薄膜经热处理后得到所述微粗糙度二氧化钒薄膜。本发明通过简单的工艺，在二氧化钒薄膜上引入微结构，极大地提高了薄膜的可见光透过率和近红外调节能力。 | ||
| 搜索关键词： | 粗糙 氧化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微粗糙度二氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括：配制含钒离子、成膜促进剂和相分离组分的前驱体溶液，所述相分离组分为能够在前躯体成膜后干燥过程中从前躯体膜中单独析出，产生均匀分散的异相团聚体的物质；采用所述前驱体溶液在衬底上形成前驱体薄膜，干燥形成不均匀薄膜；以及所述不均匀薄膜经热处理后得到所述微粗糙度二氧化钒薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C20-04 ..镀金属
