[发明专利]一种可微调的晶圆测试机在审
| 申请号： | 201210583444.3 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103901334A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 郭寂波 | 申请（专利权）人： | 深圳市劲升迪龙科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。所述凸轮滑块机构来实现晶圆载台的上下移动；所述精密微调机构包括XY调整台、角度转动调整台、交叉导轨垂直调整系统和观测镜头XY位移台；所述弹力放松装置通过弹簧和圆形弹性钢片来实现操作人员操作时的省时省力；所述运动停止装置通过弹簧定位销使晶圆载台在运动停止后迅速静止。本发明采用精密微调机构降低了探针的损坏避免经常更换探针；采用运动停止装置避免了由于运动停止时惯性产生的晃动，提高测试精确度和效率;采用弹力放松装置通过弹力可以使负载迅速的到达位置，缩短操作时间提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微调 测试 | ||
【主权项】：
一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。
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