[发明专利]一种可微调的晶圆测试机

权利要求书

1.一种可微调的晶圆测试机，其包含一晶圆载台、一凸轮滑块机构、一精密微调机构、一弹力放松装置、一运动停止装置、一探针测试装置。

2.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述凸轮滑块机构包括有凸轮，轴心，轴承座，摇柄，定位销，滑块，直线导轨，主导板，导板连接板，定位块，底板和导板；直线导轨固定在主导板上并垂直安装在底板上，轴承座垂直安装在底板上，导板平行安装在滑块上，导板连接板垂直固定于导板上，凸轮通过摇柄的拉动，连接轴转动，带动滑块在直线导轨内上下运动，来实现晶圆载台的上下移动。

3.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述精密微调机构包括XY调整台、角度转动调整台、交叉导轨垂直调整系统以及观测镜头XY位移台。

4.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述XY调整台，通过X向与Y向的两组交叉导轨以及弹簧和千分尺来实现所观测晶圆在X和Y两个方向上的位移动作。

5.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述角度转动调整台包括千分尺，晶圆载台，调整座，连接座，定位柱，弹簧，滚珠轴承，平面轴承和挡圈；定位柱与测试圆台连接，并伸入连接调整座U型槽内，定位柱一侧安装弹簧，另外一侧安装千分尺，弹簧一端用无头螺丝固定，另一端顶住定位柱，通过定位柱、千分尺、弹簧和晶圆载台的机械连接来实现晶圆载台的角度转动。

6.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述交叉导轨垂直调整系统用于调整晶圆载台Y方向的微调。

7.根据权利要求3所述的精密微调机构，其特征在于，所述观测镜头XY位移台包括有观测成像装配轴，X调整块，X支撑片，X支撑轴，X调整螺杆，Y调整块，Y支撑片，Y支撑轴，Y调整螺杆，微调轮和铜套；观测成像装配轴安装于X调整块上，观测成像装置固定于观测装配轴上，通过X向与Y向的两组导柱丝杆结构的运动来实现观测镜头在X和Y两个方向上的位移动作。

8.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述弹力放松装置装在凸轮滑块机构上，通过弹簧和圆形弹性钢片来实现操作人员操作时的省时省力。

9.根据权利要求1所述的可微调的晶圆测试机，其特征在于，所述运动停止装置通过弹簧定位销使晶圆载台在运动停止后迅速静止。