[发明专利]一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层，由TiB2相和Cu相构成，所述TiB2相具有（0001）晶面择优取向，以质量百分比计，组成元素为：50.9~88%的Ti、4.1~14.0%的B以及1.0~45.0%的Cu，属于陶瓷涂层领域。该涂层兼具有高硬度、高韧性的特点，其塑性指数为0.30以上，硬度达到25GPa以上，能够很好地满足使用要求，具有广阔的应用前景。本发明还公开了一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法，其方法为：将TiB2靶安装在中频阴极上，Cu靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积TiB2-Cu韧性硬质涂层。该方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。

主权项

一种二硼化钛‑铜韧性硬质涂层，其特征在于，由TiB2相和Cu相构成，所述TiB2相具有0001晶面取向，以质量百分比计，组成元素为：Ti     50.9%~88%；B      4.1%~14.0%；Cu     1.0%~45.0%。