[发明专利]一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层，其特征在于，由TiB₂相和Cu相构成，所述TiB₂相具有0001晶面取向，以质量百分比计，组成元素为：

Ti     50.9%~88%；

B      4.1%~14.0%；

Cu     1.0%~45.0%。

2.根据权利要求1所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层，其特征在于，由TiB₂相和Cu相构成，所述TiB₂相具有0001晶面取向，以质量百分比计，组成元素为：

Ti     64.1%~87.1%；

B      8.2%~13.8%；

Cu     2.9%~22.7%。

3.根据权利要求2所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层，其特征在于，由TiB₂相和Cu相构成，所述TiB₂相具有0001晶面取向，以质量百分比计，组成元素为：

Ti     69.1%~76.7%；

B      8.2%~10.8%；

Cu     15.1%~20.1%。

4.根据权利要求1、2或3所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层，其特征在于，所述的Cu相为非晶结构。

5.根据权利要求1、2或3所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层，其特征在于，所述的TiB₂相的晶粒的粒径为14nm~30nm。

6.根据权利要求1~5任一项所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将TiB₂靶安装在中频阴极上，Cu靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，在基体上进行沉积，得到二硼化钛-铜韧性硬质涂层。

7.根据权利要求6所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，沉积温度为200℃~400℃，沉积压力为0.3Pa~1.0Pa。

8.根据权利要求6所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，TiB₂靶溅射功率为：250~450W，Cu靶溅射功率为：1~30W。

9.根据权利要求6所述的二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法，其特征在于，沉积时，基体的偏压为0～-90V。