[发明专利]基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台

摘要

基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台属于大规模集成电路制造装备，该装置隔振平台台体由四个均匀分布于下方的隔振器支撑，在隔振平台台体与地面之间配置有X向位移传感器、Z向位移传感器和Y向位移传感器以及X向执行器、Z向执行器和Y向执行器，构成六自由度位置闭环运动伺服系统；本发明中高度、水平姿态六维位置量可同时测量，并经解耦解算反馈给控制系统，可有效消除隔振平台由于六自由度之间相互耦合引入的位置误差源，大大提高气浮隔振平台的水平姿态精度和隔振性能。

主权项

基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台，其特征在于该装置的隔振平台台体(1)由四个均匀分布于下方的隔振器(2)支撑，所述隔振器(2)包括第一隔振器(2a)、第二隔振器(2b)、第三隔振器(2c)和第四隔振器(2d)；在隔振平台台体(1)与地面之间配置有X向位移传感器(3)、Z向位移传感器(4)和Y向位移传感器(5)，所述X向位移传感器(3)包括X向第一位移传感器(3a)和X向第二位移传感器(3b)，所述Z向位移传感器(4)包括Z向第一位移传感器(4a)、Z向第二位移传感器(4b)以及Z向第三位移传感器(4c)，同时在隔振平台台体(1)与地面之间还设置有X向执行器(6)、Z向执行器(7)和Y向执行器(8)，所述X向执行器(6)包括X向第一执行器(6a)和X向第二执行器(6b)，所述Z向执行器(7)包括Z向第一执行器(7a)、Z向第二执行器(7b)和Z向第三执行器(7c)；其中X向第一位移传感器(3a)与X向第一执行器(6a)组合、Z向第一位移传感器(4a)与Z向第一执行器(7a)组合共同配置在第一隔振器(2a)位置处，X向第二位移传感器(3b)与X向第二执行器(6b)组合、Z向第二位移传感器(4b)与Z向第二执行器(7b)组合共同配置在第二隔振器(2b)位置处，Z向第三位移传感器(4c)与Z向第三执行器(7c)组合、Y向位移传感器(5)与Y向执行器(8)组合共同配置在第三隔振器(2c)位置处。