[发明专利]基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台

权利要求书

1.基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台，其特征在于该装置的隔振平台台体(1)由四个均匀分布于下方的隔振器(2)支撑，所述隔振器(2)包括第一隔振器(2a)、第二隔振器(2b)、第三隔振器(2c)和第四隔振器(2d)；在隔振平台台体(1)与地面之间配置有X向位移传感器(3)、Z向位移传感器(4)和Y向位移传感器(5)，所述X向位移传感器(3)包括X向第一位移传感器(3a)和X向第二位移传感器(3b)，所述Z向位移传感器(4)包括Z向第一位移传感器(4a)、Z向第二位移传感器(4b)以及Z向第三位移传感器(4c)，同时在隔振平台台体(1)与地面之间还设置有X向执行器(6)、Z向执行器(7)和Y向执行器(8)，所述X向执行器(6)包括X向第一执行器(6a)和X向第二执行器(6b)，所述Z向执行器(7)包括Z向第一执行器(7a)、Z向第二执行器(7b)和Z向第三执行器(7c)；其中X向第一位移传感器(3a)与X向第一执行器(6a)组合、Z向第一位移传感器(4a)与Z向第一执行器(7a)组合共同配置在第一隔振器(2a)位置处，X向第二位移传感器(3b)与X向第二执行器(6b)组合、Z向第二位移传感器(4b)与Z向第二执行器(7b)组合共同配置在第二隔振器(2b)位置处，Z向第三位移传感器(4c)与Z向第三执行器(7c)组合、Y向位移传感器(5)与Y向执行器(8)组合共同配置在第三隔振器(2c)位置处。

2.根据权利要求1所述的基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台，其特征在于所述的隔振器(2)包括空气弹簧式隔振器和机械弹簧式隔振器。

3.根据权利要求1所述的基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台，其特征在于所述的X向位移传感器(3)、Z向位移传感器(4)和Y向位移传感器(5)包括电容位移传感器、光栅尺和基于激光干涉原理的位移传感器。